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更新時間：2023-12-11 
瀏覽次數：482自動化晶圓處理 > 晶圓搬運 > 低接觸全自動晶圓傳輸機 - LCT1AS12
產品
描述
桌上型自動高性能水平晶圓轉移工具。先進的低接觸晶圓傳輸機可提供最潔凈、可靠和快速的標準晶圓和易碎晶圓傳輸方式。
堅固的結構設計提供高可靠性和低維護成本，小體積的設計節省寶貴的潔凈室空間。LCT1AS12兼容所有業界標準的FOUP、FOSB和SEMI標準金屬和塑料開放式料盒。
LCT1AS12 特性：
觸摸屏控制
FOUP 轉 FOSB
交叉槽、晶圓重疊和晶圓存在的傳感器映射檢查
PVDF 涂層桿
一次傳輸 25 個晶圓
規格
晶圓尺寸300
電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 電源單獨出售
吞吐量每小時 60 盒
重量75 磅
附加信息
裝運重量165磅
裝運尺寸19 × 35 × 20 英寸
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