EddyCus lab 2020 Sr–非接觸式單點薄層電阻測試儀
這EddyCus lab 2020 Sr
是一種非接觸單點薄層電阻測量系統。該設備包含一組渦流傳感器，可將微弱電流感應到導電膜和材料中。樣品中的感應電流產生電磁場，該電磁場與測量對象的薄層電阻相關。該技術與表面特征或形態無關。此外，它不需要任何種類的充分樣品接觸或制備，例如從2點或4點探針測試（2PP，4PP）或霍爾效應或范德堡測量中已知的。它既不需要設置測試結構，也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外，測量不會對被測薄膜產生物理影響。由于存在機械磨損，渦流儀器的使用壽命較長。它與接觸質量無關，速度快，可實現高重復性和高精度，有利于R&D和測試實驗室各種薄膜的系統質量保證。EddyCus工具可以由具有各種數據記錄和導出功能的SURAGUS軟件驅動，也可以由SURAGUS軟件開發套件驅動的客戶軟件驅動。
更新時間：2024-04-02 
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