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nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置

更新時間：2025-07-26      瀏覽次數：71
NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置是一種專門用于半導體制造和納米技術領域中，從硅晶片表面和側面回收微量金屬污染物的設備。以下是關于該裝置的詳細介紹：

產品特點

  • 自動化操作：設備可以自動完成采樣液的供給、支架具的裝卸以及采樣液的回收，從而減少操作員引起的污染。
  • 多種采樣模式：通過與計算機聯機，可選擇豐富多樣的采樣模式，包括圓環形、扇形、固定半徑、圓弧等，還能對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
  • 適用性廣泛：對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
  • 減少人為污染：采樣操作由設備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
  • 自動清洗功能：具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風險，并減少工作人員之間分析準確性的差異。

技術規格

  • 操作控制：通過電腦完成。
  • 外形尺寸：以SC-9200為例，其外形尺寸為690×550×790mm。
  • 重量：SC-9200的重量為55Kg。
  • 外部資源：需要電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。

應用場景

主要應用于半導體制造過程中，對硅晶片進行表面和側面的微量金屬污染物分析。適用于需要高精度和高效率分析的環境，如半導體制造廠、材料研究機構等。

優勢

  • 提高分析效率和準確性：通過減少人為污染和提高采樣精度，有助于提高半導體產品的質量和可靠性。
  • 專的利技術：擁有對硅晶圓端面污染物采樣的“端面采樣"技術已取得國際專的利，對親水晶圓的采樣技術也已取得國內專的利。
  • 完善的售后服務：原則上，有海內外的維修委托時，在48小時內與用戶進行聯系溝通。

型號對比

表格
設備名稱SC-3100SC-8150SC-9100SC-9200
操作控制電腦手動自動自動
支架具的裝/卸自動手動自動自動
采樣液的供給自動手動自動自動
采樣液的回收自動手動自動自動
采樣基本模式圓環形、扇形、固定半徑、圓弧---
采樣追加模式端面、弧形、長方形---
晶圓排片對圓環形、固定半徑、端面采樣模式有追加項---
吸取式采樣〇-〇〇
親水面采樣-〇〇〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)600×494×600600×494×700600×494×790690×550×790
重量35Kg40Kg50Kg55Kg
安裝環境無塵通風柜內---
所需外部資源電源(100～240VAC)、純凈水、干潔氣源電源(100～240VAC)、N2、干潔氣源電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源
NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術，為半導體制造領域提供了一種創新的解決方案。



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